MOCVD涂层石墨盘

  • ●产品概述
      SIC 涂层石磨基座具有耐高温、抗氧化、纯度高和耐酸碱盐及有机试剂等特性,物理化学性能稳定。与高纯度石墨相比较,高纯石墨在400℃时开始发生强烈氧化,即 使温度不高,长期应用也会因氧化而掉粉末,会依附工件和台面或污染使用环境,因此SIC涂层石墨基座作为一种新耗材MOCVD设备、粉末烧结等工序上逐 渐代替高纯石墨。
    ● 主要特点:
    1.高温抗氧化:抗氧化,温度高达1600℃时抗氧化性能仍然非常好;
    2.纯度高:高温氯化条件下化学气相沉积方法制得的;
    3.耐冲刷:硬度高、表面致密、颗粒细;
    4.抗腐蚀性:耐酸、碱、盐及有机试剂;
    5.SIC表面层为β-碳化硅,属面心立方。
      主要参数

    性能

    单位

    数值

    表观密度

    g/cm3

    3.15-3.20

    莫氏硬度

    -

    9.5

    晶格常数

    nm

    α 0.434

    热传导率

    W/m.K

    80

    热膨胀率

    10-6-1

    4.8×10-6

    ●产品应用:
      外延生长用的石墨基座涂层(包括Veeco,AIXTRON,Thomas Swan)。
    ●联系方式:
       0534-2129266
    *公司网址:

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